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ONX®600
一種含氟聚合物複合材料，在高溫下具有優異的耐酸性能
格林粗花呢的ONX®600是一種基於氟聚合物的碳纖維增強複合材料，是一種高強度、高純度的材料，可以在高溫下抵抗強酸性化學反應。用於晶圓清洗，ONX®600耐SPM(硫-過氧化氫，食人魚)，SC1(過氧化氫氧化銨)，SC2(過氧化氫氯)和稀釋的HF清洗液。
ONX®600推薦用於精密元件，可穩定地承受高達200°C(392°F)的濕製工藝溫度，並且足夠純淨，適用於必須接觸晶圓邊緣的應用。此外，因為矽比ONX硬®600，邊緣損傷和顆粒最小化。最後,ONX®600是導電的，以消除由旋轉噴霧作用引起的靜電電荷，保護半導體器件的微妙特性。
ONX®與其他含氟聚合物材料相比，600提供了更強的性能和更低的擁有成本。它通過優異的機械性能和一致的質量最大化了設備的性能和可靠性，使其成為OEM設備製造商具有挑戰性的規格的理想選擇。
KLINGER是Greene Tweed產品的澳大利亞授權分銷商。
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下麵您可以找到更多關於ONX的產品相關信息®600複合材料,免費訪問和下載。
應用程序
用於高溫晶圓清洗(正麵和背麵/斜角)、濕法蝕刻加工和去除抗蝕劑的組件:
- 精密圓片卡盤總成
- 晶片夾
- 晶圓針
- 螺絲。
特性和好處
- 擁有成本低
- 熱穩定性-不變形高達260°C(500°F)暴露或溫度循環
- 優越的強度和剛度允許應用與高角加速度
- 高純度-低ppb範圍內的離子
- 導電，防止與過程相關的靜電放電
- 抗強酸，堿和溶劑，使廣泛使用
- 光滑的表麵光潔度
- 黑色——耐變色;接觸/物理磨損無標記或顏色轉移
